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浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司徐守波获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司申请的专利晶圆载盘放置装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222906288U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422086081.3,技术领域涉及:B65D25/10;该实用新型晶圆载盘放置装置是由徐守波;李孟轩;翟虎;刘志彪设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆载盘放置装置在说明书摘要公布了:本公开提供一种晶圆载盘放置装置,包括盒体,盒体包括两个对立设置的固定板,每个固定板的内侧面设置有沿固定板的高度方向延伸并沿固定板的长度方向相互间隔设置的多个固定槽,两个固定板上的固定槽位置一一对应,且将位置相对应的两个固定槽设置为一组,一组固定槽用于供一个晶圆载盘的两端插入。本公开提供的晶圆载盘放置装置的优势在于放置在每组固定槽内的晶圆载盘之间并不会相互接触,从而方便了依次拿取晶圆载盘放入镀膜机中,同时避免了拿取过程中出现载盘之间产生摩擦导致产生额外的颗粒物,保证了晶圆沉积的品质。

本实用新型晶圆载盘放置装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆载盘放置装置,其特征在于,包括盒体,所述盒体包括两个对立设置的固定板1,每个所述固定板1的内侧面设置有沿所述固定板1的高度方向延伸并沿所述固定板1的长度方向相互间隔设置的多个固定槽101,两个所述固定板1上的所述固定槽101位置一一对应,且将位置相对应的两个固定槽101设置为一组,一组所述固定槽101用于供一个晶圆载盘4的两端插入。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司,其通讯地址为:323010 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-350;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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