昆山晟成光电科技有限公司郑严严获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山晟成光电科技有限公司申请的专利一种紧凑型硅片烘干设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222912152U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420837817.3，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型一种紧凑型硅片烘干设备是由郑严严;李世磊;梁先东;季鹏;周文彬设计研发完成，并于2024-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种紧凑型硅片烘干设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于烘干设备技术领域，涉及一种紧凑型硅片烘干设备，包括烘干槽体和若干花篮，烘干槽体中设有若干直立式风刀，直立式风刀沿XZ面延伸并将烘干槽体的内部分隔为两个收容若干花篮的烘干腔，花篮内插放若干硅片，硅片的板面均沿YZ面，直立式风刀的吹气方向朝向Y向两侧，烘干槽体中还设有两组吹气管，两组吹气管分别位于两个烘干腔内且处于直立式风刀的Y向相对位置，吹气管的吹气方向沿Y方向并朝向直立式风刀，烘干槽体的下部设有镂空的支撑架和排水机构，支撑架托承花篮，排水机构位于支撑架的下方。本设备能够利用直立式风刀和吹气管吹出的热风同时对花篮中的多个硅片进行烘干，而且底部能排水，设备结构紧凑，烘干效率高。
本实用新型一种紧凑型硅片烘干设备在权利要求书中公布了：1.一种紧凑型硅片烘干设备，其特征在于：包括烘干槽体和若干花篮，所述烘干槽体中设有若干直立式风刀，所述直立式风刀沿XZ面延伸并将所述烘干槽体的内部分隔为两个收容若干所述花篮的烘干腔，所述花篮内插放若干硅片，所述硅片的板面均沿YZ面，所述直立式风刀的吹气方向朝向Y向两侧，所述烘干槽体中还设有两组吹气管，两组吹气管分别位于两个烘干腔内且处于所述直立式风刀的Y向相对位置，所述吹气管的吹气方向沿Y方向并朝向所述直立式风刀，所述烘干槽体的下部设有镂空的支撑架和排水机构，所述支撑架托承所述花篮，所述排水机构位于所述支撑架的下方。
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