浙江海纳半导体股份有限公司刘伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江海纳半导体股份有限公司申请的专利一种APCVD背封炉腔体清理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222902101U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420395956.5，技术领域涉及：B08B9/34；该实用新型一种APCVD背封炉腔体清理装置是由刘伟;袁逸铖;叶顺;蒋慧;朱建勇;徐子洋;余水强;李晓庭;吕文静;欧亦峰设计研发完成，并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种APCVD背封炉腔体清理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及APCVD背封炉技术领域，具体为一种APCVD背封炉腔体清理装置，包括主体部分、环境净化单元、夹持机构和清洁单元，主体部分包括箱体和箱体架，箱体的内部中间安装有不锈钢孔板，夹持机构安装于箱体内的顶部，环境净化单元包括置于顶部的风淋机构和底部的排风机构，清洁单元包括吹扫枪、可变形毛刷和真空吸尘管。该APCVD背封炉腔体清理装置中，通过设置环境净化单元，包括风淋机构和排风机构，确保了清理过程中的环境清洁度。排风机构则通过抽风机和集尘仓的组合，将含有粉尘的空气进行集中处理，进一步保证了清理装置内部空气的洁净。夹持机构的设计使得腔体的固定和移动变得更为便捷。清洁单元的组合使用，使得腔体的清理更为彻底。
本实用新型一种APCVD背封炉腔体清理装置在权利要求书中公布了：1.一种APCVD背封炉腔体清理装置，其特征在于：包括主体部分、环境净化单元、夹持机构6和清洁单元，主体部分包括箱体3和箱体架2，所述箱体3的内部中间安装有不锈钢孔板31，所述夹持机构6安装于所述箱体3内的顶部，环境净化单元包括置于顶部的风淋机构5和底部的排风机构9，清洁单元包括吹扫枪10、可变形毛刷11和真空吸尘管12。
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