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龙图腾网恭喜上海精测半导体技术有限公司申请的专利带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的测量和监控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020174B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210677384.5，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的测量和监控方法是由刘骊松设计研发完成，并于2022-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的测量和监控方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的测量和监控方法，用于有图形晶圆。所述测量方法包括：使用带电粒子束扫描成像设备对有图形晶圆进行离线的全面测量FM，以获取各个待测像素的实际像素尺寸；基于所述全面测量FM方法进行部分测量QM，用于所述设备在线测量部分待测像素的实际像素尺寸，不占机时，速度快、时间成本低；所述监控方法包括一种闭环流程，包括使用离线的全面测量FM和在线使用部分测量QM方法，有不同的测量频率，以及所述测量频率的自动调优机制，能更准确地把握实施实际像素尺寸全面测量FM的时机。既能避免测量不及时从而影响设备的本职工作，又能避免浪费机时。

本发明授权带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的测量和监控方法在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束扫描成像设备的实际像素尺寸的测量方法，其特征在于，包括：使用带电粒子束扫描成像设备对有图形晶圆进行离线的全面测量FM，以获取各个待测像素的实际像素尺寸；基于所述全面测量FM方法进行部分测量QM，用于所述设备在线测量部分待测像素的实际像素尺寸；其中，所述全面测量FM方法包括：在所述晶圆上采集模板图像，在所述模板图像中提取一个或多个模板，并保存；按预设方向和预设距离移动所述晶圆并采集目标图像，根据所述模板在目标图像中进行模板匹配以获得大于或等于相似度阈值的匹配位置，获取各所述模板和对应的匹配位置之间的目标位移，并以各所述匹配位置对应的相似度占比为归一化权重得到加权目标位移；将所述目标图像作为模板图像，进行下一次的提取模板和模板匹配以获得另一加权目标位移，完成后以同样方式继续进行，直到满足预设停止条件时，停止采集图像和提取模板，进入下一步;根据累积的晶圆运动距离和加权目标位移获取所述实际像素尺寸；其中，所述部分测量QM方法包括：对任一所述部分待测像素，在所述晶圆上采集模板图像，在所述模板图像中提取至少一对满足预设的模板要求的模板；获得各对模板中两模板之间的模板距离，并保存；在晶圆上采集目标图像，并用所述模板进行模板匹配以获得满足预设目标要求的匹配位置，获取各对匹配位置中两匹配位置之间的目标距离，比较所述模板距离和对应的目标距离，并结合对应的在全面测量FM时获得的实际像素尺寸，获取所述实际像素尺寸。

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