恭喜左蓝微(江苏)电子技术有限公司杨伟欣获国家专利权
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龙图腾网恭喜左蓝微(江苏)电子技术有限公司申请的专利薄膜体声波谐振器及其制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114978083B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210648816.X，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权薄膜体声波谐振器及其制备工艺是由杨伟欣;宋磊;张志民设计研发完成，并于2022-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜体声波谐振器及其制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备工艺，制备工艺包括：制作衬底，在衬底上刻蚀凹槽并在凹槽内填充释放材料；在衬底上连续依次形成下电极、压电层和上电极，构建覆盖释放材料的压电薄膜堆叠结构；图形化上电极和压电层，以使上电极和压电层在垂直于衬底方向上的投影位于凹槽的边缘之内；图形化下电极，下电极的一部分搭接衬底。本发明主要以提升薄膜体声波谐振器的品质因数Q值为主要目的，从膜层表面粗糙度、以及薄膜体声波谐振器界的能量泄露两个方面进行优化，避免了因为电极连接产生的寄生问题，通过仿真证明Q值确实得到较高的提升。
本发明授权薄膜体声波谐振器及其制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种薄膜体声波谐振器的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：制作衬底，在所述衬底上刻蚀凹槽并在所述凹槽内填充释放材料；在所述衬底上连续依次形成下电极、压电层和上电极，构建覆盖所述释放材料的压电薄膜堆叠结构；图形化所述上电极和所述压电层，以使所述上电极和所述压电层在垂直于所述衬底方向上的投影位于所述凹槽的边缘之内；图形化所述下电极，所述下电极的一部分搭接所述衬底；图形化所述上电极和所述压电层的步骤具体包括：在所述上电极上形成光刻胶层，并图形化所述光刻胶层以形成镂空图形；以图形化的所述光刻胶层为掩膜，对所述上电极和所述压电层进行刻蚀。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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