恭喜诺德凯(苏州)智能装备有限公司周帅获国家专利权
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龙图腾网恭喜诺德凯(苏州)智能装备有限公司申请的专利一种硅片插片机及硅片插片方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114999976B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210454241.8,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种硅片插片机及硅片插片方法是由周帅设计研发完成,并于2022-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片插片机及硅片插片方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体加工技术领域,公开了一种硅片插片机及硅片插片方法,硅片插片机包括输送机构及花篮切换机构,输送机构包括输送线体和绕设于输送线体上的输送带,输送带输送硅片,花篮切换机构包括两个花篮承载板,两个花篮承载板均能沿竖直方向升降,以使承载于花篮承载板上的花篮的多个放置层能够逐一地与输送带对接,当位于靠近输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮下降至输送线体的下方或位于靠近输送带上游的一侧的花篮承载板上升至输送线体的上方时,输送带位于下游的端部能够朝向位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板移动,并与位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮对接,以提高硅片插片机的工作效率,进而提高硅片的产能。
本发明授权一种硅片插片机及硅片插片方法在权利要求书中公布了:1.一种硅片插片机,其特征在于,包括:输送机构210,包括输送线体211和绕设于所述输送线体211上的输送带212,所述输送带212被配置为输送硅片;及花篮切换机构,包括两个花篮承载板221,两个所述花篮承载板221沿所述输送带212的输送方向间隔设置,两个所述花篮承载板221均能够沿竖直方向升降,以使承载于所述花篮承载板221上的花篮100的多个放置层能够逐一地与所述输送带212位于下游的端部对接,当承载于位于靠近所述输送带212上游的一侧的所述花篮承载板221上的所述花篮100下降至所述输送线体211的下方或位于靠近所述输送带212上游的一侧的所述花篮承载板221上升至所述输送线体211的上方时,所述输送带212位于下游的端部能够朝向位于远离所述输送带212上游的一侧的所述花篮承载板221移动,并与位于远离所述输送带212上游的一侧的所述花篮承载板221上的所述花篮100的放置层对接,进而减少切换所述花篮100所花费的时间。
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