恭喜湖北大学;湖北江城实验室马国坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖北大学;湖北江城实验室申请的专利以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695659B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210335342.3,技术领域涉及:H10N70/00;该发明授权以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法是由马国坤;何哲;陈大磊;王浩设计研发完成,并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法,包括以下步骤:将氧化铌选通管置于反应腔体内,向反应腔体内加入水和双氧水;向反应腔体内通入超临界二氧化碳流体,控制反应腔体内的压力为2800~3200psi、温度为110~130℃,反应时间为1~2h。本发明的方法,采用超临界二氧化碳流体技术,使用双氧水和去离子水共同作为反应性物质,对已制备好的掺钛氧化铌选通管进行处理,成功降低了器件的OFF态电流,大幅提高了选通比。由于双氧水具有比去离子水更好的氧化性,相比单独使用去离子水作为反应物质,采用双氧水和去离子水共同作为反应性物质可以更好地钝化材料和器件内部以及不同材料界面处的缺陷。
本发明授权以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法在权利要求书中公布了:1.一种以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法,其特征在于,包括以下步骤:将氧化铌选通管置于反应腔体内,向所述反应腔体内加入450~500μL的水以及10~50μL质量浓度为25~35%的双氧水;向所述反应腔体内通入超临界二氧化碳流体,控制反应腔体内的压力为2800~3200psi、温度为110~130℃,反应时间为1~2h;所述氧化铌选通管包括:底电极;转换层,其位于所述底电极一侧面;顶电极,其位于所述转换层远离所述底电极的一侧面;其中,所述转换层的材料为钛掺杂的氧化铌;所述底电极的材料为Ti、Pt、W或TiN中的一种;所述顶电极的材料为Pt或Ti中的一种。
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