恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)谭胜旺获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利投影物镜系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114594659B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210244412.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权投影物镜系统是由谭胜旺;吴爽;申淙;高爱梅设计研发完成，并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本投影物镜系统在说明书摘要公布了：本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，第一透镜组至第六透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正、正。根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。
本发明授权投影物镜系统在权利要求书中公布了：1.一种投影物镜系统，其特征在于，包括沿所述投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组；所述第一透镜组、所述第三透镜组、所述第五透镜组和所述第六透镜组具有正光焦度；所述第二透镜组和所述第四透镜组具有负光焦度；所述第一透镜组包括至少一片双凹透镜、至少一片弯月透镜和至少一片双凸透镜；所述第一透镜组包括第二透镜至第六透镜；所述第二透镜为物方表面和像方表面均是凹入的双凹透镜；所述第三透镜为物方表面是凹入的且像方表面是凸出的弯月透镜；所述第四透镜为物方表面和像方表面均是凸出的双凸透镜；所述第五透镜为物方表面是凸出的且像方表面是凹入的弯月透镜；所述第六透镜为物方表面是凸出的且像方表面是凹入的弯月透镜；所述第三透镜、所述第四透镜和所述第五透镜为一组接近对称的正透镜组，且所述第三透镜、所述第四透镜和所述第五透镜的光焦度接近。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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