恭喜中山大学佘峻聪获国家专利权
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龙图腾网恭喜中山大学申请的专利一种集成真空电子管器件结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114639580B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210248416.X，技术领域涉及：H01J19/02；该发明授权一种集成真空电子管器件结构及其制备方法是由佘峻聪;章易;曹兆龙;黄媛;黄一峰;邓少芝;许宁生;曾妙璇;陈军设计研发完成，并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成真空电子管器件结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种集成真空电子管器件结构及其制备方法，器件结构包含衬底、阴极、第一绝缘层、第一栅极、第二绝缘层、第二栅极、第三绝缘层和阳极；阴极垂直于衬底表面；衬底、第一绝缘层、第一栅极、第二绝缘层、第二栅极、第三绝缘层和阳极由下往上无间隙层叠；第一栅极为具有火山口状微孔的电极，第二栅极为具有火山口状微孔的电极或具有微孔的平铺电极，第二栅极顶端与第一栅极顶端的高度差为200nm～1000nm，且第二栅极微孔孔径大于第一栅极微孔孔径；阴极位于第一栅极、第二栅极微孔中心；第二栅极电位设置不低于第一栅极电位。
本发明授权一种集成真空电子管器件结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种集成真空电子管器件结构，其特征在于，包含衬底1、阴极2、第一绝缘层3、第一栅极4、第二绝缘层5、第二栅极6、第三绝缘层7和阳极8；所述阴极2垂直于衬底1表面；所述衬底1、第一绝缘层3、第一栅极4、第二绝缘层5、第二栅极6、第三绝缘层7和阳极8由下往上依次无间隙层叠；所述第一栅极4为具有火山口状微孔的电极，第二栅极6为具有火山口状微孔的电极或具有微孔的平铺电极，第二栅极6顶端与第一栅极4顶端的高度差为200nm～1000nm，且第二栅极6微孔孔径大于第一栅极4微孔孔径；所述阴极2位于第一栅极4、第二栅极6中心，所述第二栅极6电位不低于第一栅极4电位。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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