恭喜电子科技大学李春获国家专利权
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龙图腾网恭喜电子科技大学申请的专利一种柔性热敏传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114777944B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210053553.8,技术领域涉及:G01K7/22;该发明授权一种柔性热敏传感器及其制备方法是由李春;张锐;兰长勇;林杰;刘力文设计研发完成,并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种柔性热敏传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种柔性热敏传感器及其制备方法,所述柔性热敏传感器包括柔性衬底、位于衬底上的二硒化钯PdSe2热敏薄膜、金属电极及聚合物封装钝化膜。所述制备方法具体步骤为:在柔性衬底上直接生长或者转移一层二硒化钯薄膜,二硒化钯通过等离子体增强化学气相沉积法PECVD硒化制备而成,在二硒化钯上镀金属电极,使用聚合物膜封装。本发明的优点是低温兼容柔性基底,工艺简洁,易于集成,便于大规模生产高灵敏性的柔性热敏传感器。
本发明授权一种柔性热敏传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种柔性热敏传感器,其特征包括从下到上:1柔性衬底、2二硒化钯热敏薄膜、3金属电极、4聚合物膜封装层。
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