恭喜沈阳芯达科技有限公司魏猛获国家专利权
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龙图腾网恭喜沈阳芯达科技有限公司申请的专利一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113653702B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111076728.9，技术领域涉及：F15B15/14；该发明授权一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法是由魏猛;胡延兵;张茂峰设计研发完成，并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法，属于气动设备技术领域，解决了相关技术中的此类往复运动机构所存在所占空间大以及成本高的技术问题。该单路双通气动往复运动机构包括座体，座体设有与第一气管连接的连接杆，连接杆中开设有气流通道，气流通道与第一气管连通；微型气缸，安装在座体上，微型气缸与气流通道连通，微型气缸的伸缩杆伸出于座体；外接活塞杆，外接活塞杆与伸缩杆连接；导向套，可拆卸固定连接在座体上，导向套套接在外接活塞杆外；能够产生正压气体和负压气体的气体发生装置，第一气管与气体发生装置连通。通过上述结构，该往复运动机构能够满足芯片制造的动力所需，并且其体积更小，成本更低，实用性更强。
本发明授权一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种单路双通气动往复运动机构，其特征在于，包括：座体，所述座体设有与第一气管连接的连接杆，所述连接杆中开设有气流通道，所述气流通道与所述第一气管连通；微型气缸，安装在所述座体上，所述微型气缸的进气口与所述气流通道连通，并且所述微型气缸的伸缩杆伸出于所述座体；外接活塞杆，所述外接活塞杆与所述伸缩杆可拆卸固定连接；导向套，可拆卸固定连接在所述座体上，所述导向套套接在所述外接活塞杆外；能够产生正压气体和负压气体的气体发生装置，所述气体发生装置的正压气体出口和负压气体出口通过三通阀门与所述第一气管相连通。
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