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龙图腾网恭喜应用材料以色列公司申请的专利多视角晶片分析获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116368377B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180067312.2，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权多视角晶片分析是由H·费尔德曼;E·内斯坦;H·伊兰;S·阿拉德;I·阿尔莫格;O·戈拉尼设计研发完成，并于2021-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本多视角晶片分析在说明书摘要公布了：本文中公开了一种用于检测样本上的缺陷的方法。所述方法包括以下步骤：获得多重视角中的样本的区域的扫描数据；以及执行对获得的扫描数据的整合分析。整合分析包括：基于获得的扫描数据来计算跨视角协方差，和或估计跨视角协方差；以及在考虑到跨视角协方差的情况下，确定区域中的缺陷的存在。

本发明授权多视角晶片分析在权利要求书中公布了：1.一种用于检测样本上的缺陷的方法，所述方法包括以下步骤：获得多重视角中的样本的第一区域的扫描数据；以及执行对获得的所述扫描数据的整合分析，所述整合分析包括：基于获得的所述扫描数据来计算跨视角协方差；以及在考虑到所述跨视角协方差的情况下，确定所述第一区域中的缺陷的存在，其中确定所述第一区域中的所述缺陷的所述存在进一步包括：针对所述第一区域的多个子区域中的每一者，基于所述多重视角中的每一者中的所述第一区域的获得的所述扫描数据和对应的参考数据，来产生所述多重视角中的每一者中的差异值；以及至少基于与所述子区域和相邻于所述子区域的子区域相对应的所述差异值以及与所述子区域和相邻的所述子区域相对应的噪声值，来确定所述多个子区域中的每一者是否有缺陷，所述噪声值包括来自所述跨视角协方差的对应协方差，其中所述确定所述多个子区域中的每一者是否有缺陷的步骤包括：产生协方差矩阵C，所述协方差矩阵C包括与所述子区域和相邻于所述子区域的所述子区域相对应的所述噪声值；将包括与所述子区域和相邻的所述子区域相对应的所述差异值的第一向量v乘以所述协方差矩阵C的逆，以获得第二向量；计算所述第二向量与第三向量的标量积，所述第三向量的分量包括表征缺陷的值；以及如果所述标量积大于预定阈值，则将所述子区域标记为有缺陷，其中： n是所述多个子区域的数量，m是所述多重视角的数量，所述第一向量v包括n×m个分量，vij表示第i个视角中的第j个子区域的所述值，i＝1、2、…、n，j＝1、2、…、m，所述协方差矩阵C由m×m个矩阵Cab组成，使得所述矩阵Cab中的每一者是n×n矩阵的协方差矩阵，a＝1、2、…、m，b＝1、2、…、m，Ca,b＝aa＝1、2、…、m分别在第a个视角中的不同子区域之间进行关联，Ca,b≠a分别在第a个视角和第b个视角中的子区域之间进行关联。

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