恭喜江苏卓胜微电子股份有限公司宋崇希获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏卓胜微电子股份有限公司申请的专利一种声表面波谐振器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113452342B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110918720.6,技术领域涉及:H03H9/25;该发明授权一种声表面波谐振器及其制作方法是由宋崇希;姚艳龙;邱鲁岩;王放设计研发完成,并于2021-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种声表面波谐振器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种声表面波谐振器及其制作方法,该声表面波谐振器包括:压电层;第一金属膜层,第一金属膜层位于压电层的一侧,其中,第一金属膜层包括叉指式换能器和信号传输器,信号传输器与叉指式换能器连接;第一温度补偿膜层,第一温度补偿膜层位于叉指式换能器的远离压电层的一侧,第一温度补偿膜层覆盖叉指式换能器,且第一温度补偿膜层不覆盖信号传输器;阻挡层,阻挡层位于第一温度补偿膜层远离压电层的一侧,阻挡层覆盖第一温度补偿膜层,且阻挡层不覆盖信号传输器。本发明实施例提供的声表面波谐振器及其制作方法,能够实现声表面波滤波器的零温度系数,从而使声表面波滤波器的在全温范围下稳定工作。
本发明授权一种声表面波谐振器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括:压电层;第一金属膜层,所述第一金属膜层位于所述压电层的一侧,其中,所述第一金属膜层包括叉指式换能器和信号传输器,所述信号传输器与所述叉指式换能器连接;第一温度补偿膜层,所述第一温度补偿膜层位于所述叉指式换能器的远离所述压电层的一侧,所述第一温度补偿膜层覆盖所述叉指式换能器,且所述第一温度补偿膜层不覆盖所述信号传输器;阻挡层,所述阻挡层位于所述第一温度补偿膜层远离所述压电层的一侧,所述阻挡层覆盖所述第一温度补偿膜层,且所述阻挡层不覆盖所述信号传输器;所述阻挡层用于防止所述第一温度补偿膜层中部分元素的迁移;第二温度补偿膜层,所述第二温度补偿膜层位于所述阻挡层远离所述压电层的一侧,所述第二温度补偿膜层覆盖所述阻挡层,且所述第二温度补偿膜层不覆盖所述信号传输器;第二金属膜层,所述第二金属膜层位于所述信号传输器远离所述压电层一侧,所述第二金属膜层覆盖所述信号传输器。
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