恭喜应用材料股份有限公司亚当·M·麦劳克林获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料股份有限公司申请的专利用于离子注入系统的电极、工件固持器及半导体处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115349160B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180023400.2，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权用于离子注入系统的电极、工件固持器及半导体处理系统是由亚当·M·麦劳克林;乔丹·B·泰伊设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于离子注入系统的电极、工件固持器及半导体处理系统在说明书摘要公布了：本发明公开安置在离子注入系统的各种组件中的热隔离系留特征，具体而言，公开一种用于离子注入系统的电极、工件固持器及半导体处理系统。例如排斥极和侧电极的电极可构造成具有充当电极杆的系留特征。归因于安置在保持电极杆的扩口头的内腔中的间隙，电极杆与电极块进行最小的物理接触。通过这种方式，电极块的温度可保持高于否则在传导降低时可能的温度。此外，这一概念可应用于工件固持器。举例来说，陶瓷压板制造成具有用于将压板附连到底座的一个或多个系留紧固件。这可最小化压板与底座之间的热传导，同时提供改进的机械连接。
本发明授权用于离子注入系统的电极、工件固持器及半导体处理系统在权利要求书中公布了：1.一种用于离子源的电极，包括：电极块，适用于安置在所述离子源内，所述电极块具有通过仅一个开口与所述电极块的外部连通的封闭的内腔，其中所述开口未延伸穿过所述电极块；以及电极杆，具有柱和扩口头，其中所述扩口头安置在所述封闭的内腔中且所述扩口头的大小使得其无法穿过所述开口，且所述扩口头在所述电极块的所述封闭的内腔中保持系留。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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