恭喜华邦电子股份有限公司林士杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜华邦电子股份有限公司申请的专利蚀刻系统及其蚀刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114765112B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110033476.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权蚀刻系统及其蚀刻方法是由林士杰;柯顺祥设计研发完成，并于2021-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻系统及其蚀刻方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种蚀刻系统及其蚀刻方法。终点检测器检测对被处理材料进行蚀刻处理时产生的光在特定波长的光强度，而产生终点检测信号。被处理材料包括材料层以及形成于材料层上的至少一罩幕层。控制装置依据终点检测信号判断罩幕层的蚀刻完成时间，依据蚀刻完成时间计算罩幕层的厚度，并依据罩幕层的厚度调整材料层的蚀刻时间。
本发明授权蚀刻系统及其蚀刻方法在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻系统，其特征在于，包括：蚀刻装置，对被处理材料进行蚀刻处理，以形成特征结构，所述蚀刻装置包括：终点检测器，检测对所述被处理材料进行所述蚀刻处理时产生的光在特定波长的光强度而产生终点检测信号，所述被处理材料包括材料层以及形成于所述材料层上的至少一罩幕层；以及控制装置，耦接所述蚀刻装置，依据所述终点检测信号判断所述罩幕层的蚀刻完成时间，依据所述蚀刻完成时间计算所述罩幕层的厚度，依据所述罩幕层的厚度调整所述材料层的蚀刻时间。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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