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龙图腾网恭喜中国科学院大连化学物理研究所申请的专利平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114597109B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011430782.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置是由杨亮;石文波;李庆伟;耿自才;李永钊;吴克难;赵天亮;周冬建;回晓康;金玉奇设计研发完成，并于2020-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口并与真空腔体底端密封连接，壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接，真空腔体内设有呈平面环状的射频耦合线圈，且射频耦合线圈位于壁面带孔空心圆筒上方，真空腔体外侧设有射频供电系统，且射频耦合线圈通过线路与射频供电系统相连，真空腔体底端两侧分别设有抽真空系统和气压采集系统。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点，且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

本发明授权平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置在权利要求书中公布了：1.一种平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其特征在于：包括依次连接的供气系统29、扩压器7和真空腔体1，其中真空腔体1中设有壁面带孔空心圆筒19，且所述壁面带孔空心圆筒19上端密封、下端开口且外壁与真空腔体1底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒19中设有电加热元件5，且所述电加热元件5下端由壁面带孔空心圆筒19下端开口伸出至真空腔体1外与外电源连接，真空腔体1内设有呈平面环状的射频耦合线圈24，且所述射频耦合线圈24位于所述壁面带孔空心圆筒19上方，在真空腔体1外侧设有射频供电系统26，且所述射频耦合线圈24通过线路与所述射频供电系统26相连，在真空腔体1底端一侧设有抽真空系统28、另一侧设有气压采集系统27；所述真空腔体1底端设有叠置在一起的底端密封法兰上盖2和底端密封法兰下盖3，且所述壁面带孔空心圆筒19下端穿过所述底端密封法兰上盖2后与所述底端密封法兰下盖3固连，所述底端密封法兰下盖3接地，且所述底端密封法兰下盖3上设有供电加热元件5插入对应壁面带孔空心圆筒19的直通接口；所述壁面带孔空心圆筒19上端设有可拆卸的螺纹封盖20；所述供气系统29包括供气气源12、质量流量计11和扩压器连接器10，所述供气气源12与扩压器连接器10通过送气管路连接，且所述送气管路上设有所述质量流量计11，所述扩压器连接器10下端设有连接器法兰9，所述扩压器7上端设有扩压器上法兰8，且所述连接器法兰9与所述扩压器上法兰8固连；所述射频耦合线圈24为平面环状金属线圈，且所述金属线圈沿着环形周向方向呈螺旋管结构，所述真空腔体1侧壁上设有绝缘密封座30，且所述射频耦合线圈24下端固装于所述绝缘密封座30上，所述射频供电系统26包括依次串联的射频电源21和匹配器22，且所述匹配器22分别通过不同的同轴传输线23与所述射频耦合线圈24下侧两端连接，两个同轴传输线23均穿过所述绝缘密封座30，并且其中一个同轴传输线23与地线25连接；抽真空系统28先抽取真空腔体1内的气体，并且通过供气系统29及扩压器7调节工作气压、气体种类及流速，然后壁面带孔空心圆筒19内的吸气剂通过电加热元件5加热激活，然后射频供电系统26启动使输出功率通过射频耦合线圈24作用于真空腔体1内，并使真空腔体1内产生等离子体。

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