恭喜东京毅力科创株式会社胜沼隆幸获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利用于控制基板上的图案的形状的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112951717B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011388472.0，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权用于控制基板上的图案的形状的方法和设备是由胜沼隆幸设计研发完成，并于2020-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于控制基板上的图案的形状的方法和设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种通过第一阶段和第二阶段处理基板的设备和方法。在第一阶段，在保持有基板的腔室中执行混合气体施用循环。引入第一气体持续第一时间段，以使第一气体的组分吸附到基板上。随后，引入第二气体持续第二时间段，以使第二气体与第一气体的组分反应以在基板的图案的侧壁上提供保护层，并且第二气体蚀刻图案的底部，第一时间段与第二时间段之比为使用比。然后，在第二阶段，以对应于图案的竖直尺寸的不同的使用比重复混合气体施用循环。
本发明授权用于控制基板上的图案的形状的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种处理基板的方法，包括以下步骤：在第一阶段，在保持有基板的腔室中执行混合气体施用循环，包括：将第一气体引入所述腔室中持续第一时间段，使所述第一气体的组分吸附到所述基板上，以及随后，引入第二气体持续第二时间段，使所述第二气体与所述第一气体的组分反应以在所述基板的图案的侧壁上提供保护层，并且所述第二气体蚀刻所述图案的底部，所述第一时间段与所述第二时间段之比为使用比；以及在第二阶段，以不同的使用比重复所述混合气体施用循环，所述不同的使用比对应于所述图案的竖直尺寸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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