买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜特铨股份有限公司申请的专利用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113628995B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010885938.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法是由陈明生设计研发完成，并于2020-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法，用于使一无线静电载盘与一薄化基板的自动粘合与粘合后的自动解离，该系统包含有一机体、至少一个传输装置、至少一个烘烤装置、至少一个预对位装置及至少一个粘脱设备所组成，其中粘脱设备包含有一供吸附一无线静电载盘的载板静电生成组，以及一供吸附一薄化基板的基板移载组，而该基板移载组可相对该载板静电生成组线性位移，使得该基板移载组可带动薄化基板压合于该载板静电生成组的无线静电载盘表面，由此，可驱动该载板静电生成组使无线静电载盘生成静电电力场，以粘合该薄化基板，而能提升粘合效率，并可供应付高精度的制程需求，以满足薄化基板的自动化制作的需求。

本发明授权用于无线静电吸盘的粘脱设备、自动粘脱系统及粘脱方法在权利要求书中公布了：1.一种用于无线静电吸盘的粘脱设备，用于一无线静电载盘与一薄化基板的粘合或解离，其该无线静电载盘底面具有导电生成或解离静电电力场的导极，其特征在于，该粘脱设备包含有；一框架；一载板静电生成组，其设于该框架上，该载板静电生成组具有一供无线静电载盘选择性固定的工作平面，且该工作平面上具有对应接触无线静电载盘正负导极的导极，又该工作平面能将该无线静电载盘或该薄化基板定位于一正确位置；一基板移载组，其设于该框架上且与该载板静电生成组相对，使得该基板移载组能吸附一具有正确位置的薄化基板，且相对该载板静电生成组位移；由此，该基板移载组能带动薄化基板与无线静电载盘压合后，能驱动该载板静电生成组使无线静电载盘生成静电电力场，以粘合该薄化基板；其中，该工作平面上具有一导柱组，该导柱组包含围绕于无线静电载盘外周缘的至少二个限制载盘横向位置的固定导柱及至少一个能推动无线静电载盘与固定导柱啮合的活动导柱，使得该无线静电载盘或该薄化基板定位于工作平面的一正确位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人特铨股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新北市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。