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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系统及例程获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114466728B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080066598.8，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系统及例程是由侯赛因·萨迪吉;理查德·M·布兰克;彼得·S·图拉德;马克·E·爱默生;阿鲁尔塞尔瓦姆·西蒙·杰亚帕兰;马尔科·皮奇加洛设计研发完成，并于2020-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系统及例程在说明书摘要公布了：公开了判断和使用用于将晶片提供至半导体处理工具的晶片站的晶片支撑件的多种类型偏移的系统和技术；这样的技术和系统可使用可具有多个传感器的自动校准晶片，所述传感器包含可用于摄像与位于选定晶片站中的两种不同结构相关的基准的多个位于边缘的摄像传感器。

本发明授权用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系统及例程在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体处理的系统，包括：半导体处理工具，该半导体处理工具包含：晶片搬运机械手；一或多个晶片站；以及第二控制器，其中：每一晶片站具有一或多个对应的晶片支撑件，以及所述晶片搬运机械手与所述第二控制器通讯连接；以及自动校准晶片，其包含：衬底，其尺寸被设置成能被所述晶片搬运机械手运送并且具有第一侧，所述第一侧被配置成当所述衬底由所述晶片搬运机械手运送时与所述晶片搬运机械手的末端执行器接触；多个第一摄像传感器，其由所述衬底支撑且定位于偏离所述衬底的共同点的多个位置处，当所述衬底被定位成所述第一侧面向下并且置于衬底支撑件上方时，每个所述第一摄像传感器具有面向下的视场并且被配置为获取以下项中的至少两者的图像：a与所述衬底支撑件相关的基准、b置于所述衬底支撑件上的半导体晶片、c置于所述衬底支撑件上的边缘环；以及第一控制器，其中所述第一控制器与所述第一摄像传感器中的每一者通信连接，以及所述第二控制器和所述第一控制器共同被配置成：a选择所述一或多个晶片站中的第一晶片站的所述一或多个晶片支撑件中的第一晶片支撑件；b使所述晶片搬运机械手将所述自动校准晶片定位在所述第一晶片支撑件上方；c使每个第一摄像传感器在所述自动校准晶片定位在所述第一晶片支撑件上方时获得所述第一晶片支撑件的基准的对应的第一图像；d基于第一图像确定第一晶片支撑件中心点的位置信息；e使所述晶片搬运机械手取回校准晶片，f使所述晶片搬运机械手将所述校准晶片传送至所述第一晶片支撑件，使得当沿着竖直轴观看时所述校准晶片的中心点标称居中于所述第一晶片支撑件的中心点上；g使所述晶片搬运机械手将所述自动校准晶片定位于所述第一晶片支撑件与所述校准晶片上方；h使每个第一摄像传感器获得当所述自动校准晶片定位于所述第一晶片支撑件与所述校准晶片上方时所述第一晶片支撑件的基准与所述校准晶片的基准的对应的第二图像；以及i基于在所述第二图像中的所述第一晶片支撑件与所述校准晶片的基准之间的间隙尺寸判断所述校准晶片的所述中心点与所述第一晶片支撑件的所述中心点之间的晶片晶片支撑件的水平偏移。

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