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龙图腾网恭喜北京华镁钛科技有限公司申请的专利一种精确对位衬底玻璃通孔的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111415859B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010234509.8，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种精确对位衬底玻璃通孔的制造方法是由修威;徐琦;田海燕;杨光设计研发完成，并于2020-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精确对位衬底玻璃通孔的制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种精确对位衬底玻璃通孔的制造方法，解决了大尺寸面板精确对位衬底玻璃通孔制造的效率及成本问题。具体包括：首先，根据产品规格要求，设计衬底玻璃通孔与相应膜层的对位标记，并明确通孔与其他膜层构体的位置关系，形成设计图纸；其次采用基于激光烧蚀或者光刻技术的微纳工艺对衬底玻璃进行加工制造，形成符合所设计的衬底玻璃通孔；最后，将已实现通孔的面板衬底玻璃投入下一个功能层薄膜如第一金属电极层循环工艺，得到精确对位的功能层与通孔的套刻结构。本发明大幅提高了玻璃通孔对位精度，降低了工艺实现难度，提高了产品良率，同时制造效率也得以提升。此外，还降低了物料成本及产能消耗浪费。

本发明授权一种精确对位衬底玻璃通孔的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种精确对位衬底玻璃通孔的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：根据产品规格要求，设计衬底玻璃通孔与相应功能层的对位标记，并确定通孔与其他功能层的位置关系，形成设计图纸；采用微纳工艺对衬底玻璃进行加工制造，形成符合设计的衬底玻璃通孔；将已实现通孔的衬底玻璃投入下一个功能层薄膜循环工艺，在衬底玻璃上沉积制备第一功能层薄膜，在第一功能层薄膜上制备光刻胶，采用光学图像采集系统抓取第一层功能层薄膜对应的图形掩膜版上的对位标记和衬底玻璃通孔的对位标记，调整衬底玻璃位置将两者自动进行重叠对齐对位，进一步利用光刻技术将掩膜图案转移到光刻胶上并显影，在光刻胶上形成第一功能层薄膜的图案，将具有第一功能层薄膜及其光刻胶图案的衬底玻璃进行湿法刻蚀，去除光刻胶后，得到精确对位的功能层通孔与玻璃通孔的套刻结构；后续其他功能层薄膜进入循环工艺，并与上一功能薄膜层精确对位套刻，最终形成每一个功能薄膜层并与衬底玻璃通孔保持精确对位关系。

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