浙江求是创芯半导体设备有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是创芯半导体设备有限公司申请的专利束流测量装置及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222926871U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421348145.6，技术领域涉及：G01T1/29；该实用新型束流测量装置及设备是由曹建伟;沈文杰;沈加富;佘垒;吴尽;李杰;黄剑利;余世政设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本束流测量装置及设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体技术领域，公开了束流测量装置及设备。束流测量装置包括测量壳、束流杯以及电极组件。测量壳内具有封闭的安装腔，且测量壳的侧面开设有与安装腔连通的导通狭缝；束流杯设置于安装腔内，束流杯的侧面具有供束流注入的收集沉槽；电极组件具有筛选狭缝，筛选狭缝一端与导通狭缝连通，另一端与收集沉槽连通，筛选狭缝内形成电势不同的电场以排除束流中的低能量离子和电子。以此该束流测量装置在使用时，通过将束流穿过有电极组件形成的电势不同的电场，不仅能够排除束流中的电子，还能够排除束流中的低能量离子，从而有效减少低能量离子和电子对束流的测试结果造成干扰的可能性，有效提高测量的准确度。
本实用新型束流测量装置及设备在权利要求书中公布了：1.束流测量装置，其特征在于，包括：测量壳1，所述测量壳1内具有封闭的安装腔，且所述测量壳1的侧面开设有导通狭缝11；束流杯2，设置于所述安装腔内，所述束流杯2的侧面具有供束流注入的收集沉槽；以及电极组件3，所述电极组件3具有筛选狭缝，所述筛选狭缝一侧与所述导通狭缝11连通，另一侧与所述收集沉槽连通，所述筛选狭缝内形成电势不同的电场以排除束流中的低能量离子和电子。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江求是创芯半导体设备有限公司，其通讯地址为：311106 浙江省杭州市临平区临平街道经济技术开发区顺达路500号1幢103室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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