张江国家实验室喻虹获国家专利权
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龙图腾网获悉张江国家实验室申请的专利基于多光束入射的小角X射线散射量测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118328914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310914756.6,技术领域涉及:G01B15/00;该发明授权基于多光束入射的小角X射线散射量测装置及方法是由喻虹;谈志杰设计研发完成,并于2023-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于多光束入射的小角X射线散射量测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于多光束入射的小角X射线散射量测装置及方法,该装置包括:X射线源1;聚焦镜2;光阑组3,包括具有多个孔径光阑311的光束选择器310,聚焦后的X射线束通过多个孔径光阑而选择性地得到多束入射光束,多个孔径光阑分别用于调整多束入射光束的发散角;样品台4,用于载放样品,多束入射光束相对于样品的法线方向以不同的入射角照射到样品表面的规定位置;探测器5,接收多束入射光束被样品散射后并从样品射出的多束检测光束,以获取多束检测光束的散射光强空间分布;以及数据处理系统6,基于散射光强空间分布及多束入射光束各自的入射角,确定样品的三维结构信息。
本发明授权基于多光束入射的小角X射线散射量测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于多光束入射的小角X射线散射量测装置,用于量测样品的三维结构信息,其特征在于,包括:X射线源,该X射线源发出X射线束;聚焦镜,该聚焦镜对所述X射线束进行聚焦;光阑组,该光阑组包括具有多个孔径光阑的光束选择器,经过所述聚焦镜聚焦后的所述X射线束通过所述多个孔径光阑而选择性地得到多束入射光束,所述多个孔径光阑分别用于调整所述多束入射光束的发散角;样品台,该样品台用于载放所述样品,所述多束入射光束相对于所述样品的法线方向以不同的入射角照射到所述样品表面的规定位置处重叠;探测器,该探测器设置在所述样品的与所述X射线源侧相反的一侧,接收所述多束入射光束被所述样品散射后并从所述样品射出的多束检测光束,以获取所述多束检测光束的散射光强空间分布;以及数据处理系统,该数据处理系统基于所述散射光强空间分布、以及所述多束入射光束各自的入射角,确定所述样品的三维结构信息。
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