买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695228B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210328405.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置是由苏鹏方;杜旭;高荣荣;曲越奇;张香兰设计研发完成，并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置，其中，所述确定方法包括：获取目标晶圆上的每个对准标记单元上设置的对准标记的标记类型和标记质量；根据获取的每个对准标记的标记类型和标记质量进行组合，得到每个对准标记的类别标识；确定每个对准标记组合的类别组合标识；以运动台的移动路径最短为目标，确定运动台在每种类别标识下或每种类别组合标识下所对准的对准标记的对准顺序；按照确定的对准顺序，根据预先确定的配对数量，对对准标记进行配对，以得到目标晶圆的目标对准标记。通过所述确定方法和确定装置，能够选择出使晶圆工作台运动更小的距离的对准标记，从而提升了生产芯片的效率，降低了生产芯片所需的成本。

本发明授权一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的对准标记的确定方法，其特征在于，所述晶圆上包括多个曝光块，每个曝光块上包括至少一个对准标记单元，每个对准标记单元上设置有一个对准标记；所述对准标记包括至少一个平行于水平方向X轴的X标记和或至少一个平行于竖直方向Y轴的Y标记；所述确定方法包括：获取目标晶圆上的每个对准标记单元上设置的对准标记的标记类型和标记质量；所述标记类型包括XY型、X型和Y型；所述XY型为对准标记同时包括至少一个X标记和至少一个Y标记的类型；所述X型为对准标记仅包括至少一个X标记的类型；所述Y型为对准标记仅包括至少一个Y标记的类型；所述标记质量用于评价每个对准标记上的X标记和或Y标记的质量情况；所述标记质量包括A质量和B质量；根据获取的每个对准标记的标记类型和标记质量进行组合，得到每个对准标记的类别标识；所述类别标识包括以下项中的任意一项：标记类型为XY型且标记质量为A、标记类型为XY型且标记质量为B、标记类型为X型且标记质量为A、标记类型为X型且标记质量为B、标记类型为Y型且标记质量为A、标记类型为Y型且标记质量为B；将每个曝光块上的一个标记类型为X型的对准标记和一个标记类型为Y型的对准标记进行组合，得到每个曝光块上的一个对准标记组合；并将每个曝光块上的对准标记组合中每个对准标记的类别标识进行组合，得到每个对准标记组合的类别组合标识；所述类别组合标识包括以下项中的任意一项：标记类型为X型且标记质量为A和标记类型为Y型且标记质量为A、标记类型为X型且标记质量为A和标记类型为Y型且标记质量为B、标记类型为X型且标记质量为B和标记类型为Y型且标记质量为A、标记类型为X型且标记质量为B和标记类型为Y型且标记质量为B；以运动台的移动路径最短为目标，确定运动台在每种类别标识下或每种类别组合标识下所对准的对准标记的对准顺序；按照确定的对准顺序，根据预先确定的配对数量，对对准标记进行配对，以得到目标晶圆的目标对准标记。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。