恭喜ASML荷兰有限公司S·B·鲁博尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利反射器制造方法及相关的反射器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113474880B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080016678.2,技术领域涉及:H01L23/00;该发明授权反射器制造方法及相关的反射器是由S·B·鲁博尔;S·T·范德波斯特设计研发完成,并于2020-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本反射器制造方法及相关的反射器在说明书摘要公布了:公开了一种制造反射器的方法。该方法包括至少抛光多个基本平坦的衬底中的最上面的基本平坦的衬底的最上表面,将每个基本平坦的衬底变形为期望的形状,并且将变形的衬底接合在一起以形成所述反射器。在实施例中,使用模具来一起执行变形和接合。
本发明授权反射器制造方法及相关的反射器在权利要求书中公布了:1.一种制造用于量测装置的反射器的方法,所述方法包括:至少抛光多个平坦的衬底中的最上面的平坦的衬底的最上表面;将每个平坦的衬底变形为期望的形状,并且将变形的所述衬底接合在一起,以形成所述反射器;其中使用模具来一起执行变形步骤与接合步骤;其中所述最上面的衬底的所述最上表面被抛光到比其它接合表面更高的标准。
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