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龙图腾网恭喜苏州冠韵威电子技术有限公司申请的专利一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119851558B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510350421.5，技术领域涉及：G09B25/02；该发明授权一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用是由魏礼开;杜杰;张闯设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用。所述示教装置可应用于半导体干法刻蚀的示教活动中，并包括安装基座，安装基座表面开设有移动槽，移动槽内滑动安装有移动滑板，移动滑板上设置有辅助移动机械手进行限位的限位机构和解除限位机构限位作用的解除机构，使用时移动机械手插入到安装基座与示教晶圆模拟块之间的间隙中后，通过移动机械手与解除机构中的触动滑块挤压接触后，触动滑块会带动限位机构中的插接卡块进行移动，解除限位机构的限位作用，移动机械手能够推动移动滑板沿着移动槽的长度方向移动，在移动过程中避免了移动机械手由于手持方式导致的晃动、偏移问题，以此提高了示教装置使用时的教学效果。

本发明授权一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载端口的快速示教装置，包括安装基座（1）和示教晶圆模拟块（3），示教晶圆模拟块（3）装载在安装基座（1）的上方，并且示教晶圆模拟块（3）与安装基座（1）之间存在间隙，该装置还包括有移动机械手（2），在练习时作业人员手持移动机械手（2），将移动机械手（2）移动至示教晶圆模拟块（3）与安装基座（1）之间的间隙中，其特征在于：所述安装基座（1）表面开设有移动槽，移动槽内滑动安装有移动滑板（4），移动滑板（4）上设置有辅助移动机械手（2）进行限位并且解除限位供移动机械手（2）进行移动的辅助机构，辅助机构由限位机构（5）以及解除机构（6）组成，移动槽两侧开设有卡槽，并且移动滑板（4）的两端安装有限位机构（5），通过限位机构（5）插入到卡槽中实现了对移动滑板（4）的限位，移动滑板（4）上还连接有与限位机构（5）对应的解除机构（6），解除机构（6）用于解除限位机构（5）的限位作用，移动机械手（2）进入到示教晶圆模拟块（3）与安装基座（1）之间的间隙中后接触解除机构（6），由解除机构（6）解除限位机构（5）对移动滑板（4）的限位作用后通过移动机械手（2）推动移动滑板（4）在移动槽内移动。

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