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龙图腾网恭喜杭州众硅电子科技有限公司申请的专利一种晶圆提拉结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833466B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510311021.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆提拉结构是由顾海洋;徐枭宇;李子豪设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆提拉结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆提拉结构，包括至少一个提拉臂，由提拉臂围设形成的弧形缺口部，及开口端，弧形缺口部的内径与晶圆的外径适配，开口端的宽度小于晶圆的外径，还包括沿弧形缺口部中心轴线延伸的贯穿通道，及晶圆限位检测单元，晶圆限位检测单元活动设于贯穿通道，且至少部分可沿第二方向穿过提拉臂伸入弧形缺口部以与晶圆相抵，贯穿通道具有限位管道，晶圆限位检测单元的部分位于该限位管道以形成两者在第一方向的限位配合，第一方向和第二方向相垂直或趋于相垂直。本发明晶圆限位检测单元活动设置在贯穿通道，使得晶圆限位检测单元不仅可以发挥检测晶圆有无的功能，而且配合提拉臂稳固夹持晶圆，实现了晶圆的稳固夹持和检测晶圆二合一。

本发明授权一种晶圆提拉结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆提拉结构，包括至少一个提拉臂1，由提拉臂1围设形成的弧形缺口部2，及开口端3，所述弧形缺口部2的内径与晶圆4的外径适配，所述开口端3的宽度小于晶圆4的外径，晶圆4挂设在开口端3，其特征在于：还包括沿弧形缺口部2中心轴线延伸的贯穿通道8，及晶圆限位检测单元9，所述贯穿通道8设于提拉臂1内，所述晶圆限位检测单元9活动设于贯穿通道8，且至少部分可沿第二方向穿过提拉臂1伸入弧形缺口部2以与晶圆4相抵，所述贯穿通道8具有限位管道81，所述晶圆限位检测单元9的部分位于该限位管道81以形成两者在第一方向的限位配合，所述第一方向和第二方向相垂直或趋于相垂直；所述晶圆限位检测单元9包括活动设于贯穿通道8的扁担件5，及连接于扁担件5的感应件6，所述扁担件5可穿过提拉臂1伸入弧形缺口部2以与晶圆4相抵，所述感应件6用于感应提拉臂1是否夹持有晶圆4；所述提拉臂1具有第一安装槽12，所述扁担件5的一端位于第一安装槽12，其另一端穿过提拉臂1的贯穿通道8伸入弧形缺口部2，所述晶圆限位检测单元9的部分位于第一安装槽12内，所述扁担件5与所述限位管道81形成第三方向的限位配合，以使得扁担件5位于弧形缺口部2所在平面，使得所述扁担件5起到两头载物中间限位的扁担作用。

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