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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种半导体测试结构的摆放方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119742301B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510228947.6，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权一种半导体测试结构的摆放方法、装置、设备及介质是由齐天翔;龚伟;沈爱绪设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体测试结构的摆放方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体测试结构的摆放方法、装置、设备及介质，摆放方法包括：在晶圆上，获取待进行测试的目标区域；在目标区域上，统计出多个主芯片区、多个切割道区的位置，其中，切割道区位于主芯片区的周侧；在部分切割道区内，摆放光刻标记，并将其他切割道区记为测试结构的摆放区域；基于待摆放的测试结构预设的位置信息，与摆放规则库中的摆放规则进行对比，获取待摆放的测试结构对应的当前摆放规则；根据当前摆放规则的优先级顺序，先后对目标区域进行网格划分，得到不同的网格区域及对应的网格坐标；根据当前摆放规则的优先级顺序，将对应的待摆放的测试结构摆放至摆放区域的网格区域中。本发明可提高测试结构的摆放效率。

本发明授权一种半导体测试结构的摆放方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体测试结构的摆放方法，其特征在于，包括：在晶圆上，获取待进行测试的目标区域；在所述目标区域上，统计出多个主芯片区、多个切割道区的位置，其中，所述切割道区位于所述主芯片区的周侧；在部分所述切割道区内，摆放光刻标记，并将其他所述切割道区记为测试结构的摆放区域；基于待摆放的测试结构预设的位置信息，与摆放规则库中的摆放规则进行对比，获取所述待摆放的测试结构对应的当前摆放规则，其中，所述摆放规则库中的摆放规则表征为在所述摆放区域上，对不同的测试结构按照对应的位置信息进行摆放；根据所述当前摆放规则的优先级顺序，先后对所述目标区域进行网格划分，得到不同的网格区域及对应的网格坐标，其中，所述待摆放的测试结构的网格区域和网格坐标之间的关联度与所述当前摆放规则的优先级顺序相关；根据所述当前摆放规则的优先级顺序，将对应的所述待摆放的测试结构摆放至所述摆放区域的网格区域中；其中，所述基于待摆放的测试结构预设的位置信息，与摆放规则库中的摆放规则进行对比，获取所述待摆放的测试结构对应的当前摆放规则的步骤，包括：基于待摆放的测试结构的位置信息，获取所述待摆放的测试结构在所述目标区域上的网格区域及对应的网格坐标；按照所述摆放规则库中摆放规则的优先级顺序，依次对所述待摆放的测试结构的网格区域及对应的网格坐标之间的关联度进行分析，获取所述待摆放的测试结构对应的当前摆放规则，其中，所述摆放规则库中摆放规则的优先级顺序，与不同的测试结构在所述目标区域上的网格区域和网格坐标的关联度相关；其中，所述按照所述摆放规则库中摆放规则的优先级顺序，依次对所述待摆放的测试结构的网格区域及对应的网格坐标之间的关联度进行分析的步骤，包括：将不同的测试结构之间具有网格区域关联及网格坐标关联的摆放规则，记为高优先级的摆放规则；将不同的测试结构之间具有网格区域关联或者网格坐标关联的摆放规则，记为中优先级的摆放规则；将不同的测试结构之间不具有网格区域关联或者网格坐标关联的摆放规则，记为低优先级的摆放规则；按照摆放规则的高优先级、中优先级、低优先级的顺序，依次对所述待摆放的测试结构的网格区域及对应的网格坐标之间的关联度进行分析。

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