恭喜地球山(苏州)微电子科技有限公司;严衍伦刘长华获国家专利权
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龙图腾网恭喜地球山(苏州)微电子科技有限公司;严衍伦申请的专利MEMS数字流量控制阀门、数字流量计及流量控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119467851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510066408.7,技术领域涉及:F16K37/00;该发明授权MEMS数字流量控制阀门、数字流量计及流量控制方法是由刘长华;吴甲甲设计研发完成,并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS数字流量控制阀门、数字流量计及流量控制方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种MEMS数字流量控制阀门、数字流量计及流量控制方法,其中,MEMS数字流量控制阀门包括:若干个阀门单元,按照M行N列排布成阀门阵列;M个行级焊盘,与阀门阵列中的各行一一对应,行级焊盘与对应行中各阀门单元的第一电极电性连接;N个列级焊盘,与阀门阵列中的各列一一对应,列级焊盘与对应列中各阀门单元的第二电极电性连接。通过本发明提供的MEMS数字流量控制阀门、数字流量计及流量控制方法,解决了现有电子阀门存在流量调节分辨率低、流量调节线性度差、无法快速调节阀口开合度的问题。
本发明授权MEMS数字流量控制阀门、数字流量计及流量控制方法在权利要求书中公布了:1.一种MEMS数字流量控制阀门,其特征在于,所述MEMS数字流量控制阀门包括:若干个阀门单元,按照M行N列排布成阀门阵列,其中,M为大于1的自然数,N为大于1的自然数;M个行级焊盘,与所述阀门阵列中的各行一一对应,所述行级焊盘与对应行中各阀门单元的第一电极电性连接;N个列级焊盘,与所述阀门阵列中的各列一一对应,所述列级焊盘与对应列中各阀门单元的第二电极电性连接;N个单行焊盘,与第i行中的各阀门单元一一对应,所述单行焊盘与第i行中对应阀门单元的第一电极电性连接,其中,i的取值为1、…、M;M个单列焊盘,与第j列中的各阀门单元一一对应,所述单列焊盘与第j列中对应阀门单元的第二电极电性连接,其中,j的取值为1、…、N。
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