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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利半导体动态电容测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119395392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510007448.4，技术领域涉及：G01R27/26；该发明授权半导体动态电容测试系统是由付强;邰涵翛;詹笑焜;尹亮;张文博设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体动态电容测试系统在说明书摘要公布了：一种半导体动态电容测试系统，属于半导体器件特性测量技术领域。本发明针对现有半导体器件动态电容测试平台线性度差的问题。包括：通过控制器产生温度控制信号目标值和检测控制使能电压信号；通过温度控制模块使检测平台达到温度控制信号目标值；通过集成化检测前级接口电路采用集成电路芯片根据检测控制使能电压信号产生参考直流电压信号和目标正弦电压信号并加载到待测电容两端；所述待测电容设置在检测平台上；同时通过集成化检测前级接口电路采集待测电容两端的电压波形，并对电压波形进行处理得到电容测量值。本发明用于半导体动态电容测试。

本发明授权半导体动态电容测试系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体动态电容测试系统，其特征在于，包括：控制器（100），用于根据检测指令产生温度控制信号目标值和检测控制使能电压信号；同时用于接收电容测量值和温度测量值；温度控制模块（200），用于根据温度控制信号目标值为检测平台加热，通过内部闭环控制方法使检测平台达到温度控制信号目标值；同时对检测平台进行实际温度检测，获得温度测量值；集成化检测前级接口电路（300），用于采用集成电路芯片根据检测控制使能电压信号产生参考直流电压信号和目标正弦电压信号并加载到待测电容两端；所述待测电容设置在检测平台上；集成化检测前级接口电路（300）同时用于采集待测电容两端的电压波形，并对电压波形进行处理得到电容测量值；集成化检测前级接口电路（300）包括加载信号产生模块（310）、电容检测和放大电路（320）以及电容ADC模块（330），所述括加载信号产生模块（310）基于检测控制使能电压信号和PID控制，通过谐振晶体产生目标正弦电压信号，同时产生参考直流电压信号；再基于目标正弦电压信号产生与所述目标正弦电压信号相位和频率相同的方波信号，并倍频得到高频时钟信号作为电容ADC模块（330）的时钟；电容检测和放大电路（320），用于将目标正弦电压信号和参考直流电压信号相加并加载到待测电容两端；检测得到待测电容两端的电压波形，对所述电压波形采用加载信号产生模块（310）获得的方波信号进行解调，得到表征电容值的直流模拟电压；电容ADC模块（330），在加载信号产生模块（310）产生的高频时钟信号的驱动下，将直流模拟电压转换为数字形式，得到电容测量值；加载信号产生模块（310）包括谐振晶体、增益模块G1、增益模块G2、锁相环PLL、幅值检测模块、低通滤波器LPF、加载信号PID控制器、增益模块G3和增益模块G4，增益模块G1将谐振晶体的运动检出为正弦电压信号，通过幅值检测模块和低通滤波器LPF后得到表征所述正弦电压信号的原直流电压信号；检测控制使能电压信号经增益模块G3得到目标直流电压信号，将所述原直流电压信号与目标直流电压信号相减得到幅值增量，将幅值增量经加载信号PID控制器和增益模块G2后输入至谐振晶体实现正反馈，使谐振晶体输出的正弦电压信号最终稳定为目标正弦电压信号；谐振晶体输出的目标正弦电压信号经增益模块G1和锁相环PLL得到与所述目标正弦电压信号相位和频率相同的方波信号，基于方波信号倍频出频率为所述方波信号频率的倍的高频时钟信号；检测控制使能电压信号经增益模块G4输出参考直流电压信号Vdc；电容检测和放大电路（320）的电容检测部分包括可变电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4、电阻R5、电阻R6、可变电阻R7、电阻R8、电阻R9、电阻R10、电阻R11、电阻R12、运放AMP1、运放AMP2、运放AMP3、运放AMP4、电容C1和电容C2，可变电阻R1一端连接目标正弦电压信号，电阻R2一端连接参考直流电压信号Vdc，电阻R1另一端连接电阻R2另一端，并同时连接运放AMP1的反相输入端，运放AMP1的同相输入端经电阻R3接地；运放AMP1的反相输入端经电阻R4连接运放AMP1的输出端，运放AMP1的输出端通过探针连接待测电容一端；运放AMP2反相输入端通过探针连接待测电容另一端，运放AMP2反相输入端通过电容C2连接运放AMP2输出端，电阻R6与电容C2并联；运放AMP2同相输入端经电容C1接地，电阻R5与电容C1并联；运放AMP2输出端经可变电阻R7连接运放AMP3反相输入端，运放AMP3反相输入端经电阻R9连接运放AMP3输出端，运放AMP3同相输入端经电阻R8接地；运放AMP3输出端作为待测电容两端电压波形的正极输出端a；运放AMP3输出端经电阻R10连接运放AMP4反相输入端，运放AMP4反相输入端经电阻R11连接运放AMP4输出端，运放AMP4同相输入端经电阻R12接地；运放AMP4输出端作为待测电容两端电压波形的负极输出端b。

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