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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种半导体机台量测定位方法及半导体机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119379799B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411943347.X，技术领域涉及：G06T7/73；该发明授权一种半导体机台量测定位方法及半导体机台是由陈健;张潇;胡周;於庆红设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体机台量测定位方法及半导体机台在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体机台量测定位方法及半导体机台，量测定位方法包括以下步骤：在半导体机台报错时，获取半导体机台的采样图像，并输入模板图像；分析采样图像和模板图像，从采样图像中获取多个第一特征点，从模板图像中获取多个第二特征点；根据第一特征点和第二特征点的相关性，从采样图像上截取采样区域，将模板图像映射到采样区域上；设置特征阈值，当模板图像和采样区域的相似度小于特征阈值，增加第一特征点和第二特征点的获取数量，并重新获取第一特征点和第二特征点；以及当模板图像和采样区域的相似度大于或等于特征阈值，以采样区域为半导体机台的电镜扫描区。本发明能够在机台量测出错时自动调整摄像焦点，从而实现自动过货。

本发明授权一种半导体机台量测定位方法及半导体机台在权利要求书中公布了：1.一种半导体机台量测定位方法，其特征在于，包括以下步骤：在所述半导体机台报错时，摄像获取所述半导体机台上的晶圆表面，以获取采样图像，并输入母片图像，以作为模板图像；分析所述采样图像和所述模板图像，从所述采样图像中获取多个第一特征点，从所述模板图像中获取多个第二特征点；以特征点为中心，在图像上设置可调区域，所述可调区域中包括多个辅助像素点，其中所述特征点为所述第一特征点或所述第二特征点，根据所述可调区域的结构相似性和均方误差，获取所述特征点的匹配参数，设置匹配阈值，当所述第一特征点和所述第二特征点的匹配参数误差小于所述匹配阈值，则将第一特征点和所述第二特征点相关，设置采样区域的面积，将所述第二特征点映射到相关的所述第一特征点上，根据所述第二特征点的映射区域，在所述采样图像上截取出所述采样区域；设置特征阈值，当所述模板图像和所述采样区域的相似度小于所述特征阈值，增加所述第一特征点和所述第二特征点的获取数量，并重新获取所述第一特征点和所述第二特征点；以及当所述模板图像和所述采样区域的相似度大于或等于所述特征阈值，以所述采样区域为所述半导体机台的电镜扫描区。

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