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龙图腾网恭喜江西省永合新材料科技有限公司申请的专利一种晶圆生产用光刻胶涂敷检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119414675B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411874198.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种晶圆生产用光刻胶涂敷检测装置是由罗启祥;高梁设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆生产用光刻胶涂敷检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆生产用光刻胶涂敷检测装置，涉及涂敷检测技术领域，包括安装在多个所述随动管上的吸盘，所述升降盘上开设有内嵌槽，所述随动管内同轴心滑动安装有密封块，所述密封块的上端等距开设有多个伸缩孔，每个所述伸缩孔内分别滑动连接有控制杆，所述密封块的上端面开设有和伸缩孔数量相同的顶部孔，顶部孔连通在伸缩孔内，每个所述控制杆上分别开设有控制槽，每个所述控制杆的伸出部分安装有平行板，在晶圆固定系统方面，采用了多点吸附式固定结构，通过升降盘和多个随动管的协同工作，实现了晶圆的全方位稳定固定，这种设计不仅提高了晶圆固定的稳定性，还能够通过负压检测判断固定是否到位确保了检测精度。

本发明授权一种晶圆生产用光刻胶涂敷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产用光刻胶涂敷检测装置，其特征是：包括升降盘11、包括沿着升降盘11轴心设置有多个的随动管12、吸附机构和负压机构；吸附机构包括安装在多个所述随动管12上的吸盘21和安装在工作台13上沿轴心设置的多个固定杆212，所述升降盘11上开设有内嵌槽22，所述随动管12内同轴心滑动安装有密封块23，所述密封块23的上端等距开设有多个伸缩孔24，每个所述伸缩孔24内分别滑动连接有控制杆25，所述密封块23的上端面开设有和所述伸缩孔24数量相同的顶部孔26，所述顶部孔26连通在所述伸缩孔24内，每个所述控制杆25上分别开设有控制槽27，每个所述控制杆25的伸出部分安装有平行板28，所述平行板28贴合在所述密封块23上，所述控制杆25上安装有圆头29，所述密封块23的上端面上安装有限位边210，多个所述平行板28只能在所述限位边210内滑动，多个所述固定杆212上安装有通气管213，所述随动管12的下端面上开设有底部孔214，所述通气管213滑动连接在底部孔214内，所述通气管213穿过所述底部孔214连通在所述密封块23上，所述密封块23内沿着轴心开设有和所述伸缩孔24数量相同的直角槽215，并且所述密封块23的中心位置开设有中心槽216，所述中心槽216一端连通在多个所述伸缩孔24内，所述中心槽216的另一端连通在所述通气管213内，多个所述随动管12之间安装有环形管220，多个所述随动管12分别连通在所述环形管220内；以及负压机构包括连通在多个所述随动管12上的外接管31，多个所述外接管31分别连接在外界负压设备上。

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