恭喜清华大学;上海清华国际创新中心许华平获国家专利权
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龙图腾网恭喜清华大学;上海清华国际创新中心申请的专利聚碲氧烷在非化学放大型光刻胶中的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118938603B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411296105.6，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权聚碲氧烷在非化学放大型光刻胶中的应用是由许华平;奈舍·马克;周睿豪;曹木青;谭以正设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本聚碲氧烷在非化学放大型光刻胶中的应用在说明书摘要公布了：本发明公开了聚碲氧烷在非化学放大光刻胶中的应用，该聚碲氧烷具有Te‑O链。其中Te元素对EUV的高吸收以及特殊的Te‑O主链，旨在实现优异的UV光刻I‑line、KrF、ArF等、电子束光刻和EUV光刻性能，尤其是解决兼顾高灵敏度、高分辨率、低线边缘粗糙度的EUV光刻胶难题。
本发明授权聚碲氧烷在非化学放大型光刻胶中的应用在权利要求书中公布了：1.聚碲氧烷在非化学放大光刻胶中的应用，其特征在于，所述聚碲氧烷具有Te-O链。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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