常州捷佳创精密机械有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利卧式热丝CVD镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935501U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422090642.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型卧式热丝CVD镀膜装置是由左国军;朱海剑设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本卧式热丝CVD镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种卧式热丝CVD镀膜装置，本卧式热丝CVD镀膜装置包括：镀膜腔室，其内设置有带有若干热丝组件的加热板，所述热丝组件包括：横向热丝和纵向热丝；其中所述横向热丝与所述纵向热丝叠层设置，且在加热板上的投影形成交叉；以及所述加热板与镀膜腔室的顶面之间形成匀气腔室，且所述加热板上开设有若干匀气孔，本卧式热丝CVD镀膜装置通过设置匀气腔室使通入的工艺气体更均匀，同时设置加热板对匀气腔室内的工艺气体进行预热，最后设置叠层且交叉热丝组件，使热丝组件形成的温度场更均匀，从而避免了工艺气体在腔室内结晶掉渣。
本实用新型卧式热丝CVD镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种卧式热丝CVD镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜腔室（1），其内设置有带有若干热丝组件（2）的加热板（3），所述热丝组件（2）包括：横向热丝（21）和纵向热丝（22）；所述横向热丝（21）与所述纵向热丝（22）叠层设置，且在加热板（3）上的投影形成交叉，以提高温度场的均匀性；以及所述加热板（3）与镀膜腔室（1）的顶面之间形成匀气腔室（4），且所述加热板（3）上开设有若干匀气孔（31）以使预热的工艺气体均匀进入温度场；其中，工艺气体进入匀气腔室（4）内经加热板（3）预热后穿过匀气孔（31），随后经热丝组件（2）高温热解以沉积镀膜。
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