昆山振业杨亭精密机械有限公司刘勇获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山振业杨亭精密机械有限公司申请的专利一种夹持精度高的光刻机用机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222932781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422083758.8，技术领域涉及：B25J15/00；该实用新型一种夹持精度高的光刻机用机械手是由刘勇;王云鹏;汪松亮设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种夹持精度高的光刻机用机械手在说明书摘要公布了：本实用新型公开了光刻机机械手部件技术领域的一种夹持精度高的光刻机用机械手，其结构合理，本实用新型通过将两组机械手由移动座B以螺纹连接的方式安装在驱动箱上的左右螺纹杆外壁两侧，并将机械手上下方设置夹持头，中间部分安装真空吸盘，根据真空吸盘搭配夹持板由导向柱以滑动的方式对接在机械手上的导向孔内，再根据真空吸盘位置大于夹持头位置，使其电机B驱动控制两组机械手对晶圆采取夹持处理时，真空吸盘预先对晶圆中部采取夹持，而随后夹持头再对晶圆的上下方采取夹持，采用两种方式的夹持处理，保障其中一种夹持方式出现问题，另一种方式继续保持夹持状态。
本实用新型一种夹持精度高的光刻机用机械手在权利要求书中公布了：1.一种夹持精度高的光刻机用机械手，包括光刻机顶架1，所述光刻机顶架1的内部转动连接有转轴101，所述光刻机顶架1的底部一侧安装有支撑臂2，其特征在于：所述支撑臂2的下方安装有驱动箱3，所述驱动箱3的内部转动连接有左右螺纹杆301；所述驱动箱3的底部两侧均安装有机械手4。
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