天合光能股份有限公司卜士洁获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利喷淋结构及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222935505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422094081.8,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型喷淋结构及镀膜设备是由卜士洁;周兴宝;丁琦;张玉设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋结构及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种喷淋结构及镀膜设备,属于原子层沉积设备技术领域。本申请的一个实施例提出一种喷淋结构,包括:层叠的内喷淋板和外喷淋板,内喷淋板设有多个第一喷口,外喷淋板设有多个第二喷口,第一喷口的直径小于第二喷口的直径,第一喷口朝向外喷淋板布置;在层叠方向上,第二喷口暴露第一喷口。根据本申请的喷淋结构,使得通过第一喷口的前驱物能更顺利地通过第二喷口,便于前驱物进入镀膜腔,减少前驱物发生反应产生的薄膜附着在第二喷口周围,且采用双层喷淋板的结构,可以快速安装和更换,减少维护时间,提高设备产能。
本实用新型喷淋结构及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种喷淋结构,其特征在于,包括层叠的内喷淋板和外喷淋板,所述内喷淋板设有多个第一喷口,所述外喷淋板设有多个第二喷口,所述第一喷口的直径小于所述第二喷口的直径,所述第一喷口朝向所述外喷淋板布置;在层叠方向上,所述第二喷口暴露所述第一喷口。
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