苏州晶矽电子科技有限公司刘磊石获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶矽电子科技有限公司申请的专利一种PECVD硅片镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935511U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422069866.X，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种PECVD硅片镀膜装置是由刘磊石;张丹丹设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD硅片镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PECVD硅片镀膜装置，包括底板，所述底板的中部上方固定安装有炉体，且所述炉体的内部放置有硅片承载机构；所述底板的上方于所述炉体的左右两侧均安装有电动推杆，且底板的上方于所述炉体的前后两侧均安装有伸缩杆，并且所述电动推杆的输出端和伸缩杆的活动端均共同固定有活动板，所述活动板的下端安装有抓取机构，所述电动推杆通过抓取机构带动硅片承载机构上下移动。该PECVD硅片镀膜装置，通过抓取机构和吊环的配合，以便电动推杆取出硅片承载机构，避免烫伤，并且可以调整各个承载架一之间的距离，从而便于根据实际硅片镀膜时的所需空间进行对应性调整，提高适用性。
本实用新型一种PECVD硅片镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD硅片镀膜装置，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）的中部上方固定安装有炉体（2），且所述炉体（2）的内部放置有硅片承载机构（3）；所述底板（1）的上方于所述炉体（2）的左右两侧均安装有电动推杆（4），且底板（1）的上方于所述炉体（2）的前后两侧均安装有伸缩杆（5），并且所述电动推杆（4）的输出端和伸缩杆（5）的活动端均共同固定有活动板（6），所述活动板（6）的下端安装有抓取机构（7），所述电动推杆（4）通过抓取机构（7）带动硅片承载机构（3）上下移动。
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