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龙图腾网恭喜中国船舶集团有限公司第七〇九研究所申请的专利一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115616384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211384402.7，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法是由郑锋;顾翼设计研发完成，并于2022-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法，属于集成电路测试系统领域，测试装置包括有机架、直线运动组件、环形驱动组件、载物台、定位卡子、固定架、升降组件和弹性探针组件，所述直线运动组件横设在所述机架上，所述直线运动组件的输出端和所述环形驱动组件连接，所述环形驱动组件的输出端和所述载物台连接，所述载物台上同轴设有不同大小的晶圆限位槽，所述晶圆限位槽上设有用于晶圆固定的定位卡子；所述升降组件位于所述固定架中间位置，所述升降组件的输出端和所述弹性探针组件连接，所述弹性探针组件位于所述载物台上方。本发明针对不同尺寸晶圆的测试装置可适用不同尺寸晶圆的测试，结构简单，体积较小，通用性好。

本发明授权一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种针对不同尺寸晶圆的测试装置，其特征在于：包括有机架（1）、直线运动组件（2）、环形驱动组件（3）、载物台（4）、定位卡子（5）、固定架（6）、升降组件（7）和弹性探针组件（8），其中：所述机架（1）作为安装载体，所述直线运动组件（2）横设在所述机架上，所述直线运动组件（2）的输出端和所述环形驱动组件（3）连接，所述直线运动组件（2）可带动所述环形驱动组件（3）直线运动；所述环形驱动组件（3）的输出端和所述载物台（4）连接，所述环形驱动组件（3）和所述载物台（4）同轴设置且可带动所述载物台（4）转动；所述载物台（4）用于安装晶圆，所述载物台（4）上同轴设有不同大小的晶圆限位槽（41），所述晶圆限位槽（41）上设有用于晶圆固定的定位卡子（5）；所述固定架（6）与所述直线运动组件（2）的长度方向垂直并固定在所述机架（1）上，所述升降组件（7）位于所述固定架（6）中间位置，所述升降组件（7）的输出端和所述弹性探针组件（8）连接，所述弹性探针组件（8）位于所述载物台（4）上方；所述升降组件（7）可带动所述弹性探针组件（8）竖直方向运动。

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