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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115747767B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211386471.1，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备是由魏薇;张赛谦;刘振;王婷设计研发完成，并于2022-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种薄膜沉积设备进气模块及薄膜沉积设备。该进气模块包括中间进气管路及第二进气管路。中间进气管路贯穿于薄膜沉积设备进气模块的顶部和底部。第二进气管路包括横向进气支路、纵向的双层环形管路及连通管路。横向进气支路具有进气口和出气口，进气口开设于薄膜沉积设备进气模块的侧部。纵向的双层环形管路包括第一环形管路和第二环形管路。第一环形管路的内径小于和第二环形管路的内径。第二环形管路的顶端入口与横向进气支路的出气口无缝连通。连通管路位于第一环形管路和第二环形管路之间，所述连通管路包括至少一个横向支路，各横向支路的两端分别开设于所述第一环形管路和所述第二环形管路的侧壁。

本发明授权薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积设备进气模块，其特征在于，包括：中间进气管路，纵向贯穿于所述薄膜沉积设备进气模块的顶部和底部；以及第二进气管路，包括横向进气支路、纵向的双层环形管路以及连通管路；所述横向进气支路具有进气口和出气口，所述进气口开设于所述薄膜沉积设备进气模块的侧部；所述纵向的双层环形管路包括第一环形管路和第二环形管路，其中，第一环形管路的内径小于和第二环形管路的内径；所述第二环形管路的顶端入口与所述横向进气支路的出气口无缝连通，形成折型管道，使得气体从所述进气口通入第二环形管路；以及所述连通管路位于第一环形管路和第二环形管路之间，所述连通管路包括至少一个横向支路，各横向支路的两端分别开设于所述第一环形管路和所述第二环形管路的侧壁，使得气体从所述第二环形管路输送到所述第一环形管路；所述薄膜沉积设备进气模块还包括：锥形管路，位于覆盖于喷淋板上方的上盖板内；其中，所述锥形管路的顶部与所述第二进气管路的底部连通，所述锥形管路的底部与所述喷淋板连接。

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