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龙图腾网恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115657762B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211335236.1，技术领域涉及：G05D23/30；该发明授权温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备是由韦巍设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备，所述温度调节系统包括：空调装置，空调装置安装于机体上，空调装置包括壳体以及设置于壳体内的压缩机，壳体上具有出风口和回风口，空调装置用于驱动空气从出风口经曝光模块后移动至回风口，以调节曝光模块的工作环境温度；第一温度采集装置，用于采集回风口的回风温度；加热装置，加热装置安装于空调装置内；控制装置，控制装置与空调装置、第一温度采集装置、加热装置连接，获取回风温度和压缩机的当前转速值，并根据回风温度和当前转速值控制加热装置的工作状态。采用该温度调节系统可以使直写式曝光设备内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题。

本发明授权温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种温度调节系统，其特征在于，用于直写式曝光设备，所述直写式曝光设备包括机体，所述机体内形成有容纳腔，所述容纳腔内设置有曝光模块、对准模块和运动平台模块，所述温度调节系统包括：空调装置，所述空调装置安装于所述机体上，所述空调装置包括壳体以及设置于所述壳体内的压缩机，所述壳体上具有出风口和回风口，所述空调装置用于驱动空气从所述出风口经所述曝光模块后移动至所述回风口，以调节所述曝光模块的工作环境温度；第一温度采集装置，用于采集所述回风口的回风温度；加热装置，所述加热装置安装于所述空调装置内；控制装置，所述控制装置与所述空调装置、所述第一温度采集装置、所述加热装置连接，获取所述回风温度和所述压缩机的当前转速值，并根据所述回风温度和所述当前转速值控制所述加热装置的工作状态。

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