恭喜华南理工大学唐鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜华南理工大学申请的专利一种MXenes上低维AlN材料制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115394871B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210972392.2,技术领域涉及:H10F30/227;该发明授权一种MXenes上低维AlN材料制备方法及应用是由唐鑫;李国强;郑昱林设计研发完成,并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MXenes上低维AlN材料制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了MXenes上低维AlN材料制备方法及应用,包括,在Ti3C2Tx层状材料上制备得到AlN纳米柱阵列,Ti3C2Tx层状材料和AlN纳米柱阵列之间形成的高肖特基势垒。本发明AlNNRs在Ti3C2Tx上的范德华异质外延,构建了无需外部电源的肖特基型深紫外光电探测器,器件表现出很高的深紫外光响应度和极快的响应速度,并且具有优异的稳定性。
本发明授权一种MXenes上低维AlN材料制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种MXenes上低维AlN材料制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1将硅衬底清洗处理后,通过喷雾工艺将Ti3C2Tx水溶液均匀涂在表面,在高温真空干燥箱中去除水分得到Ti3C2Tx层状材料,获得Ti3C2Tx硅片;S2将Ti3C2Tx硅片置于射频辅助分子束外延设备中,在Ti3C2Tx硅片上生长出AlN纳米柱阵列,Ti3C2Tx层状材料和AlN纳米柱阵列之间形成的高肖特基势垒,得到AlNTi3C2Tx材料;S3制备TiAu电极,所述Ti3C2Tx层状材料上设有第一金属电极;所述AlN纳米柱阵列上设有第二金属电极;S4将包括第一金属电极、AlNTi3C2Tx及第二金属电极的整个结构置于快速退火炉中进行退火处理,使得金属与AlN、Ti3C2Tx形成欧姆接触。
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