恭喜日本碍子株式会社久野达也获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本碍子株式会社申请的专利晶片载放台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092904B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210788363.0，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权晶片载放台是由久野达也;井上靖也设计研发完成，并于2022-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片载放台在说明书摘要公布了：一种晶片载放台，防止由热应力导致的破损。晶片载放台10具备：中央陶瓷基材20，在上表面具有晶片载放面20a，内置有电极22；外周陶瓷基材25，在上表面具有聚焦环载放面25a；冷却基材30，中央部31接合于中央陶瓷基材的下表面，外周部35接合于外周陶瓷基材的下表面，具有将中央部和外周部连结的连结部40。冷却基材具有：在中央部所设置的中央冷媒流路32、在外周部所设置的外周冷媒流路37，连结部在比中央冷媒流路的最外缘更靠外周侧且比外周冷媒流路的最内缘更靠内周侧的部分具有在上表面呈开口的环状的上沟42、在下表面呈开口且顶面44c比上沟的底面42b高的环状的下沟44。
本发明授权晶片载放台在权利要求书中公布了：1.一种晶片载放台，其中，具备：中央陶瓷基材，该中央陶瓷基材在上表面具有晶片载放面，且内置有电极；环状的外周陶瓷基材，该外周陶瓷基材在上表面具有聚焦环载放面，且与所述中央陶瓷基材分离地配置于所述中央陶瓷基材的外周；以及冷却基材，该冷却基材的中央部接合于所述中央陶瓷基材的下表面，外周部接合于所述外周陶瓷基材的下表面，且具有将所述中央部和所述外周部连结的连结部，所述冷却基材具有：在所述中央部所设置的中央冷媒流路、以及在所述外周部所设置的外周冷媒流路，所述连结部设置于比所述中央冷媒流路的最外缘更靠外周侧且比所述外周冷媒流路的最内缘更靠内周侧的部分，在上表面呈开口的环状的上沟、在下表面呈开口且顶面比所述上沟的底面高的环状的下沟分别具有1个以上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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