恭喜环球晶圆股份有限公司邱锦桢获国家专利权
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龙图腾网恭喜环球晶圆股份有限公司申请的专利晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210413711.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备是由邱锦桢;吕建兴;翁敬闳设计研发完成，并于2022-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备，所述晶圆治具结构主要包括了两个可分离的治具。第一治具有一个第一斜面，第二治具含有另一个第二斜面。第一斜面及第二斜面相互平行，并同时倾斜于一个外力施压的方向。当第一治具及第二治具相互靠合，而将晶圆夹置于第一斜面与第二斜面之间时，通过施压外力，此芯片将受到一个沿着芯片表面的剪应力分量。若外力在高温下操作，此晶圆将会出现高温潜变。这个晶圆治具的倾斜结构，及辅助的处理设备，正是说明了利用夹具的倾斜设计，晶圆可以容易激活并发展高温潜变变形，从而改进晶圆的几何形状。
本发明授权晶圆治具结构及引起高温潜变变形的处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆治具结构，其特征在于，包括：第一治具，具有第一斜面；以及第二治具，具有第二斜面，其中所述第一治具及所述第二治具相互靠合而使所述第一斜面朝向所述第二斜面且所述第一斜面与所述第二斜面之间形成夹置空间，所述第一治具的外围部分及所述第二治具的外围部分围绕所述夹置空间，且所述第一治具的所述外围部分及所述第二治具的所述外围部分之间具有间隙，所述第一斜面与所述第二斜面之间的距离大于所述第一治具的所述外围部分与所述第二治具的所述外围部分之间的距离。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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