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龙图腾网恭喜华北水利水电大学申请的专利一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112111725B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011196300.3，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法是由郭海滨;徐娟;郑辉;刘河潮;杨琼;徐彦;杨红新设计研发完成，并于2020-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法在说明书摘要公布了：一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法，该方法包括以下步骤：a.包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；b.在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶；c.热电偶与测温仪相连；d.镀膜机抽真空，待真空达到要求值，进行开靶作业；e.设定不同的靶位功率，同时通入氩气，通过测温仪得到不同功率下的Plasma温度。此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；成本低，可多次使用。

本发明授权一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：包括以下步骤：a.包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓（4）外套设有镀膜室（13），镀膜室（13）内均匀设置气体挡板（14），气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；b.在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板（15），Mask挡板上均匀设置有热电偶（16）；所述热电偶与镀膜鼓镀膜面平行；Mask挡板为框架结构，仅仅是安装在气体挡板上及镀膜室两端，与镀膜鼓对应的Mask挡板的位置为中空部分A；Mask挡板对应镀膜鼓位置上均设置三个热电偶，热电偶对应镀膜鼓均匀分布；c.热电偶与测温仪相连；d.镀膜机抽真空，待真空达到要求值，进行开靶作业；e.设定不同的靶位功率，同时通入氩气通过测温仪得到不同功率下的Plasma温度。

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