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龙图腾网恭喜北京坦达联轩控制技术有限公司申请的专利一种检测器件、MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111829496B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010643727.7，技术领域涉及：G01C19/5656；该发明授权一种检测器件、MEMS陀螺仪是由王丹;宋吉涛;余综;牛满科;李慧灵设计研发完成，并于2020-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测器件、MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本申请公开了一种检测器件、MEMS陀螺仪，涉及微电子机械系统领域技术领域。本申请的检测器件固定在玻璃基底上，包括：第一电极块、第二电极块、第一质量块、第二质量块和固定锚点，第一电极块和第一质量块、第二电极块和第二质量块均通过电容连接，第一电极块和第二电极块结构相同，第一质量块和第二质量块结构对称，对称设置在固定锚点之间；第一质量块、第二质量块、固定锚点之间通过支承梁连接，第一电极块、第二电极块、固定锚点均与玻璃基底键合，第一质量块和第二质量块悬浮在玻璃基底上方。本申请的技术方案提高了陀螺仪的品质因子Q，实现了驱动和检测的机械解耦，减少了噪声信号，提高了陀螺仪的信噪比。

本发明授权一种检测器件、MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种检测器件，固定在玻璃基底上，其特征在于，包括：第一电极块、第二电极块、第一质量块、第二质量块和固定锚点，第一电极块和第一质量块、第二电极块和第二质量块均通过电容连接，第一电极块和第二电极块结构相同；第一质量块和第二质量块结构对称，对称设置在固定锚点之间；第一质量块、第二质量块、固定锚点之间通过支承梁连接，第一电极块、第二电极块、固定锚点均与玻璃基底键合，第一质量块和第二质量块悬浮在玻璃基底上方；第一质量块和第二质量块均包括一个第一外振动框架、一个第一中间振动框架和一个第一内振动框架，第一外振动框架分别与第一驱动电极和第一驱动反馈电极通过电容连接，第一外振动框架与电容的连接侧与第一中间振动框架之间通过支承梁中的第五弹性支承梁连接，第一外振动框架与外围锚点的连接侧和相对侧分别与第一中间振动框架通过支承梁中的第三刚性支承梁连接，第一中间振动框架与支承梁中的第五弹性支承梁的连接侧与第一内振动框架通过支承梁中的第四刚性支承梁连接，第一中间振动框架与第三刚性支承梁的连接侧与第一内振动框架通过支承梁中的第六弹性支承梁连接，第一内振动框架与第四刚性支承梁的连接侧与内锚点通过第三弹性支承梁连接，内锚点与第三弹性支承梁连接侧的相邻两侧分别与第一内振动框架通过第一刚性支承梁连接；两个第一检测电极对称设置于第一内振动框架的内部，第一检测电极与第一内振动框架之间通过电容连接；固定锚点包括外围锚点、中间锚点和内锚点，第一质量块与第二质量块通过中间锚点和支承梁中的第一弹性支承梁连接，第一质量块与第二质量块对称设置在中间锚点和第一弹性支承梁两侧；第一质量块和第二质量块在与中间锚点和第一弹性支承梁连接的相对侧，分别与外围锚点通过支承梁中的第二弹性支承梁连接；内锚点位于第一质量块和第二质量块的内部，与第一质量块和第二质量块分别通过支承梁中的第一刚性支承梁和第三弹性支承梁连接。

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