恭喜日本碍子株式会社久野达也获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜日本碍子株式会社申请的专利静电卡盘加热器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114080670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080047681.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电卡盘加热器是由久野达也;竹林央史;相川贤一郎设计研发完成，并于2020-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘加热器在说明书摘要公布了：一种静电卡盘加热器，其具备：静电卡盘，其在陶瓷烧结体中埋设有静电电极；冷却部件，其对静电卡盘进行冷却；以及加热器层，其设置于静电卡盘与冷却部件之间，多段地埋设有包含电阻发热体层的多个金属层。加热器层在金属层彼此之间具有厚度为2μm以上且50μm以下的陶瓷绝缘层。
本发明授权静电卡盘加热器在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘加热器，具备：静电卡盘，其在陶瓷烧结体中埋设有静电电极；冷却部件，其对所述静电卡盘进行冷却；以及加热器层，其设置于所述静电卡盘与所述冷却部件之间，多段地埋设有由配线有电阻发热体的多个电阻发热体层和具有对所述电阻发热体供给电力的跳线的多个跳线层构成的多个金属层，其中，所述多个跳线层中的一个跳线层所包含的跳线分别对所述多个电阻发热体层中的一个电阻发热体层所包含的电阻发热体供给电力，所述加热器层在所述金属层彼此之间具有厚度为2μm以上且50μm以下的陶瓷绝缘层，所述陶瓷绝缘层为气溶胶沉积膜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日本碍子株式会社，其通讯地址为：日本爱知县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号