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恭喜北京怀柔实验室魏晓光获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京怀柔实验室申请的专利半导体芯片的检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119880922B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510374464.7,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权半导体芯片的检测方法是由魏晓光;焦倩倩;刘瑞;李玲;王耀华;唐新灵;张语;李立设计研发完成,并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体芯片的检测方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种半导体芯片的检测方法,半导体芯片的表面具有多个阴极梳条,该方法包括:获取半导体芯片的表面结构的图像数据;利用图像处理技术,对图像数据进行分析,以识别各阴极梳条的位置,得到各阴极梳条对应的位置信息;根据各位置信息,控制探针移动,使得探针依次与各阴极梳条接触,以检测各阴极梳条是否存在缺陷。本申请解决了现有半导体芯片检测过程中,由于阴极梳条实际位置与预设位置存在误差,主要通过人工来校对探针与芯片中的阴极梳条的测试,导致测试效率低下且准确性较低的问题。

本发明授权半导体芯片的检测方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体芯片的检测方法,其特征在于,半导体芯片的表面具有多个阴极梳条,所述方法包括:获取所述半导体芯片的表面结构的图像数据;利用图像处理技术,对所述图像数据进行分析,以识别各所述阴极梳条的位置,得到各所述阴极梳条对应的位置信息;根据各所述位置信息,控制探针移动,使得所述探针依次与各所述阴极梳条接触,以检测各所述阴极梳条是否存在缺陷,其中,利用图像处理技术,对所述图像数据进行分析,以识别各所述阴极梳条的位置,得到各所述阴极梳条对应的位置信息,包括:对所述图像数据进行预处理,所述预处理包括去噪、灰度化以及二值化;利用边缘检测算法,对预处理后的所述图像数据进行边缘检测,得到各所述阴极梳条的边缘信息;根据各所述边缘信息,利用轮廓提取算法,确定各所述阴极梳条的轮廓信息;利用预设的轮廓模板,对各所述阴极梳条的轮廓信息进行轮廓匹配,得到轮廓匹配结果,其中,所述轮廓模板表征预设的所述阴极梳条的理想轮廓;根据所述轮廓匹配结果,确定各所述阴极梳条的中心坐标,得到各所述位置信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京怀柔实验室,其通讯地址为:101400 北京市怀柔区杨雁东一路8号院5号楼319室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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