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恭喜西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学李晓茜获国家专利权

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龙图腾网恭喜西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学申请的专利基于双功能自组装钝化层的氧化镓紫外探测器的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119584700B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510135565.9,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权基于双功能自组装钝化层的氧化镓紫外探测器的制备方法是由李晓茜;王瑜;王轶博;韩根全设计研发完成,并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

基于双功能自组装钝化层的氧化镓紫外探测器的制备方法在说明书摘要公布了:本方案提供了一种基于双功能自组装钝化层的氧化镓紫外探测器及其制备方法,包括自下而上设置的衬底层、氧化剂层和双功能自组装钝化层,双功能自组装钝化层的两侧设有同氧化镓层接触的金属电极,其中双功能自组装钝化层包括自下而上设置的第一钝化层和第二钝化层,其中第一钝化层的钝化材料为降低氧化镓层表面缺陷的材料,第二钝化层的钝化材料为增强紫外光子吸收率的材料,通过将不同功能的钝化材料组合形成双功能自组装钝化层,采用双功能自组装钝化层对氧化镓紫外探测器进行钝化处理,从减少氧化镓表面缺陷和增强紫外光子吸收两方面共同提升其性能。

本发明授权基于双功能自组装钝化层的氧化镓紫外探测器的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于双功能自组装钝化层的氧化镓紫外探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:清洗干燥衬底材料得到衬底层;S2:在衬底层上生长氧化镓层;S3:在氧化镓层上生长第一钝化层,其中第一钝化层的钝化材料为降低氧化镓层表面缺陷作用的材料,第一钝化层的钝化材料选自HfO2,Si3N4,TiO2,AlN或Al2O3的一种或任意组合,第一钝化层的厚度介于5nm-50nm;S4:在第一钝化层上生长第二钝化层形成双功能自组装钝化层,其中第二钝化层的钝化材料为增强紫外光子吸收率作用的材料,第二钝化层的钝化材料选自Ti3C2,AZO,SnO2,CdTe,ITO或ZrO2的一种或任意组合,第二钝化层的厚度介于5nm-50nm;S5:在双功能自组装钝化层的两侧光刻电极图案,并沉积叠层金属形成金属电极;S6:退火金属电极形成欧姆接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学,其通讯地址为:311231 浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区钱农东路8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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