恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司陈文枢获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利压边装置及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119165744B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411572386.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权压边装置及光刻设备是由陈文枢;杨博光;郎新科;王鑫鑫;蔡晨;冒鹏飞设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本压边装置及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种压边装置及光刻设备，压边装置包括驱动单元、压边单元和连接单元。驱动单元被配置为，在吸盘完成对基板的吸附后朝靠近基板的方向驱使压边单元移动以对基板的边缘区域进行整形；连接单元被配置为，在压边单元对边缘区域进行按压并被边缘区域驱动时使得压边单元与驱动单元之间产生相对运动。如此，在驱动单元驱使压边单元按压基板的边缘区域时，使得压边单元在受到基板的反作用力后与驱动单元之间产生相对运动，以对基板所施加的力进行卸力，减小压边单元和基板之间的相互作用力，从而减小压边单元和基板之间的动摩擦，降低基板的损耗程度，提高机台工作的稳定性。
本发明授权压边装置及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种压边装置，其特征在于，包括驱动单元、压边单元和连接单元，所述压边单元通过所述连接单元与所述驱动单元连接；所述驱动单元被配置为，在吸盘完成对基板的吸附后朝靠近所述基板的方向驱使所述压边单元移动以对所述基板的边缘区域进行整形；所述连接单元被配置为，在所述压边单元对所述边缘区域进行整形并被所述边缘区域所驱动时使得所述压边单元与所述驱动单元之间产生相对运动；所述压边单元和所述驱动单元之间的相对运动包括直线相对运动，且直线运动的方向垂直所述压边单元的移动方向，所述压边单元对所述边缘区域整形时相对所述边缘区域固定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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