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龙图腾网恭喜浙江工业大学申请的专利基于MoO_x纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114994144B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210549146.6，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权基于MoO_x纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用是由谢波;游海;夏盛杰;温慧敏;钱浩宇;李增辉;张澳雪设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于MoO_x纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了基于MoOx纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用，所述传感器包括柔性衬底、MoOx纳米粒子点阵、金属微电极和电导测量外电路；其中，金属微电极设置于柔性衬底表面，MoOx纳米粒子点阵沉积于金属微电极上，电导测量外电路与金属微电极电连接。本发明中的纳米粒子由团簇束流沉积设备采取气相聚集沉积法产生。通过本发明所述方法获得的基于MoOx纳米粒子的湿度传感材料及柔性器件能够实现室温下对湿度的灵敏检测，响应时间为2s，具有室温下工作、灵敏度高、响应时间快的特征。纳米粒子点阵的阻抗都处于兆欧量级，功耗极小；能够大面积生产与封装。

本发明授权基于MoO_x纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用在权利要求书中公布了：1.基于MoOx纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器，其特征在于所述传感器包括柔性衬底1、MoOx纳米粒子点阵2、金属微电极3和电导测量外电路4；其中，金属微电极3设置于柔性衬底1表面，MoOx纳米粒子点阵2沉积于金属微电极3上，电导测量外电路4与金属微电极3电连接；所述基于MoOx纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器的组装方法，包括以下步骤：1挑选表面光滑洁净、无明显划痕的柔性衬底12在柔性衬底1表面印刷金属微电极3，采用掩模覆盖印刷、电镀或蒸镀的工艺；3在金属微电极3上沉积MoOx纳米粒子点阵2，是由Mo作为靶材并利用磁控等离子体气体聚集团簇源产生并通过差分抽真空形成纳米粒子束流沉积到金属微电极3上，之后在空气中陈化形成MoOx纳米粒子点阵2；4MoOx纳米粒子点阵2沉积完成后，采用漆包线连接金属微电极3与电导测量外电路4；5将柔性衬底1置于不同湿度环境中，并测量不同湿度环境下样品纳米粒子点阵的电流变化，并绘制湿度响应曲线步骤3中，在金属微电极上沉积MoOx纳米粒子点阵的具体过程为：将高纯度Mo靶材放置在团簇束流沉积设备的溅射枪上，将带有柔性衬底的叉指电极放置在团簇束流沉积设备的沉积室内，对整个装置采取抽真空，待真空度达到标准后，对溅射枪通入高纯氩气作为溅射气，并向溅射腔通入高纯氩气作为缓冲气，并通入电压，将Mo靶材部分气化成为气态分子或原子，然后缓冲气与之碰撞形成纳米颗粒，并通过差分抽气的方法形成纳米粒子束流，而后将束流引向团簇束流沉积设备的沉积室，沉积于金属微电极表面，在室温状态下在空气中陈化24小时以上，使Mo纳米粒子在空气中氧化为钼氧化物MoOx，从而得到在金属微电极上沉积的MoOx纳米粒子点阵；溅射腔内气压维持在50～150Pa，将Mo靶材的溅射功率设置为12～18W，其溅射电流为0.03～0.0375A，溅射电压为400～480V，溅射时间为200～250s。

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