恭喜NPS股份有限公司南元植获国家专利权
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龙图腾网恭喜NPS股份有限公司申请的专利热源装置、衬底支撑装置以及衬底处理设施获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210408216.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权热源装置、衬底支撑装置以及衬底处理设施是由南元植;延康钦;宋大石设计研发完成，并于2022-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本热源装置、衬底支撑装置以及衬底处理设施在说明书摘要公布了：本发明涉及一种热源装置、衬底支撑装置以及包括热源装置及衬底支撑装置的衬底处理设施。根据本发明，可通过腔室及衬底支撑装置以及热源装置对衬底进行均匀地加热且对衬底进行稳定地支撑，所述腔室具有在其中对衬底进行处置的内空间，所述衬底支撑装置安装在腔室中以对衬底进行稳定地支撑，所述热源装置安装在腔室中以对衬底进行均匀地加热。
本发明授权热源装置、衬底支撑装置以及衬底处理设施在权利要求书中公布了：1.一种用于对衬底进行处置的热源装置，包括:多个热源；以及支撑部件，设置有插入孔及凹槽，所述插入孔被形成为在一个方向上延伸以插入所述多个热源，所述凹槽形成在所述插入孔的一个侧中以对从所述多个热源发射的辐射进行收集且使所述辐射反射，其中所述凹槽包括多个第一凹槽及多个第二凹槽，所述多个第一凹槽形成在所述支撑部件中以形成在与所述插入孔的延伸方向相交的第一方向上延伸的第一群组，所述多个第二凹槽形成在所述支撑部件中以形成在与所述插入孔的延伸方向相交且与所述第一方向正交的第二方向上延伸的第二群组，其中所述第一群组的所述第一凹槽的数量相等于所述第二群组的所述第二凹槽的数量，其中所述多个第一凹槽与所述多个第二凹槽被形成为具有相同的直径，所述第一群组在所述第一方向上的长度等同于所述第二群组在所述第二方向上的长度，且所述第一群组在所述第二方向上的长度等同于所述第二群组在所述第一方向上的长度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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